目前退火爐加熱大都為管式爐或馬弗爐，原理為加熱絲或硅碳棒對爐體加熱，加熱與降溫速度慢，效率低下，也無法實現溫度的高精度測量，加熱區域也存在不均勻的現象，可實現寬域均熱區，高速加熱、高速冷卻，用石英管保護加熱式樣，無氣氛污染，可在高真空，高出純度氣體中加熱，設備可組成均熱高速加熱爐，溫度斜率爐，階段加熱爐，是一種目理想的退火爐。

?

高速加熱與冷卻方式；高能量的紅外燈和鍍金反射方式允許高速加熱到高溫，同時爐體可配置水冷系統，增設氣體冷卻裝置，可實現快速冷卻。
溫度高精度控制；過紅外鍍金聚焦爐和溫度控制器的組合使用，可以控制樣品的溫度（遠比普通加溫方式）。此外，冷卻速度和保持在任何溫度下可提供高精度。
不同環境下的加熱與冷卻；加熱/冷卻可用真空、氣氛環境、低溫（高純度惰性氣體靜態或流動）操作簡單，使用石英玻璃制成，紅外線可傳送到加熱/冷卻室。