真空加熱爐通常指的是電加熱爐，爐中的產品是由包圍真空氣氛包圍進行處理，沒有空氣或其他氣體可防止氧化，通過對流從產品中散失熱量，并消除污染源。
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大多數真空爐由石墨，陶瓷或金屬制成的電阻元件加熱，真空爐用于執行諸如的過程退火，釬焊，燒結和熱處理，具有高稠度和低污染的優勢。
真空系統工作時，先啟動機械泵、維持泵和擴散泵（加熱）同時打開前閥和維持泵閥，對擴散泵內進行抽真空。
當真空度達到系統某設定值時，羅茨泵啟動，同時旁路閥打開，前閥關閉，此時對真空室進行抽低真空當擴散泵加熱至規定溫度并且真空度高于規定值時，高閥打開，旁路閥關閉，前閥打開。
此時對真空室抽高真空，達到工藝要求的真空度以后，方可進行熱處理工作。熱加工過程完成后，由熱交換器對井式真空退火爐的真空室充入高純氮氣進行強制冷卻，完成整個工藝過程。
其次，在真空條件下，碳具有很強的脫氧能力，其脫氧產物CO不斷被抽至系統之外，克服了采用金屬脫氧劑脫氧的污染問題，真空爐工藝可控制合金的化學成分，對于含有和氧、氮親和力強的活性元素Al、Ti、B、Zr等，可控制在很少的范圍內。
對低熔點易揮發的金屬雜質，如Pb、Bi、Sn、Sb等能蒸發去除，這對提高材料性能起到重要作用，強烈的感應攪拌作用，能加速其反應速度，這對于熔池溫度均勻、化學成分均勻等方面很有果。
