退火爐是在半導體器件制造中使用的一種工藝,其包括加熱多個半導體晶片以影響其電性能。熱處理是針對不同的效果而設計的。可以加熱晶片以激活摻雜劑,將薄膜轉換成薄膜或將薄膜轉換成晶片襯底界面,使致密沉積的薄膜,改變生長的薄膜的狀態,修復注入的損傷,移動摻雜劑或將摻雜劑從一個薄膜轉移到另一個薄膜或從薄膜進入晶圓襯底。
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退火爐是通過熱處理可以改變鋼的組織結構,從而改善鋼的性能。熱處理可以顯著提高鋼的機械性能,延長機器零件的使用壽命。
恰當的熱處理工藝可以消除鑄、鍛、焊等熱加工工藝造成的各種缺陷,細化晶粒、消除偏析、降低內應力,使鋼的組織和性能更加均勻。
1.均勻鋼的化學成分及組織,細化晶粒,調整硬度,并消除內應力和加工硬化,改善鋼的切削加工性能并為隨后的淬火作好組織準備。
2.生產上常用的退火操作有完全退火、等溫退火、球化退火、去應力退火等。
3.完全退火和等溫退火用于亞共析鋼成分的碳鋼和合金鋼的鑄件、鍛件及熱軋型材。有時也用于焊接結構。球化退火主要用于共析或過共析成分的碳鋼及合金鋼。去應力退火主要用于消除鑄件、鍛件、焊接件、冷沖壓件(或冷拔件)及機加工的殘余內應力。